반도체 산업은 점점 더 까다로워지는 조건에서도 정밀성, 청결성, 장기적 안정성을 바탕으로 작동할 수 있는 부품을 요구합니다. 그만큼JINPAT LPT 중공축 슬립 링이러한 문제를 해결하기 위해 특별히 개발되었으며 고급 반도체 처리 장비에서 흔히 볼 수 있는 고온 및 고진공 환경에서 안정적인 회전식 변속기를 제공합니다. 내구성, 오염 제어 및 전기적 성능을 우선시하는 설계를 갖춘 LPT 시리즈는 글로벌 반도체 제조업체가 일관된 생산 품질을 유지할 수 있도록 지원합니다.
SUS304로 제작된 슬립 링의 스테인리스 스틸 하우징은 열 응력과 기계적 변형에 대한 강력한 저항력을 제공합니다. 장치 내부에는 고온 합금 전도성 링과 귀금속 복합 접점이 있어 200°C 이상의 장시간 작동 중에도 안정적인 신호 및 전력 전송을 보장합니다. 내부 구조는 효율적인 열 관리를 위해 설계되었으며, 생산 주기 전반에 걸쳐 팽창을 최소화하고 낮은 전기 소음을 유지합니다.
진공 호환성은 LPT 시리즈의 또 다른 특징입니다. 반도체 공정은 오염을 거의 0으로 줄여야 하는 엄격하게 제어되는 진공 환경에 의존합니다. 이러한 표준을 충족하기 위해 슬립 링에는 건식 무급유 설계가 적용되어 오일 증기가 방출될 가능성이 없습니다. 다단계 실링 시스템과 저탈가스 소재로 우수한 기밀성을 유지합니다. 또한 구리 이온이 없는 설계는 금속 오염을 방지합니다. 이는 웨이퍼 생산 및 기타 민감한 공정에서 중요한 이점입니다.
LPT 중공축 슬립 링은 이미 광범위한 반도체 제조 장비에서 성공적으로 사용되고 있습니다. 내열성, 기계적 안정성 및 진공 청결도가 결합되어 신뢰할 수 있고 수명이 긴 변속기 솔루션을 찾는 장비 제조업체들 사이에서 강력한 인지도를 얻었습니다. LPT 시리즈는 웨이퍼 핸들링 시스템, 검사 모듈 또는 진공 회전 장치에 통합되어 운영 안정성과 프로세스 신뢰성을 향상시키는 데 기여합니다.
반도체 기술이 계속 발전함에 따라 장비 요구 사항은 더욱 엄격해질 것입니다. JINPAT는 첨단 재료, 정밀 엔지니어링 및 엄격한 오염 제어 표준을 기반으로 구축된 고성능 슬립 링 솔루션을 개발하여 글로벌 제조업체를 지원하기 위해 계속 노력하고 있습니다. LPT 시리즈는 전 세계 반도체 산업의 진화하는 요구 사항을 충족하도록 설계된 견고하고 안정적인 회전식 인터페이스를 제공하는 이러한 약속을 나타냅니다.